发明公开
- 专利标题: 一种多层纳米空心阵列减反射膜及其制备方法
- 专利标题(英): Multilayer nano hollow array antireflection film and preparation method thereof
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申请号: CN201510958545.8申请日: 2015-12-18
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公开(公告)号: CN106892576A公开(公告)日: 2017-06-27
- 发明人: 杨海龄 , 郝雷 , 张子楠 , 王吉宁 , 米菁 , 于庆河 , 杜淼 , 赵旭山 , 王笑静 , 李世杰 , 余航 , 刘晓鹏 , 蒋利军
- 申请人: 北京有色金属研究总院
- 申请人地址: 北京市西城区新街口外大街2号
- 专利权人: 北京有色金属研究总院
- 当前专利权人: 有研工程技术研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市西城区新街口外大街2号
- 代理机构: 北京北新智诚知识产权代理有限公司
- 代理商 刘秀青; 熊国裕
- 主分类号: C03C17/34
- IPC分类号: C03C17/34
摘要:
本发明公开了一种多层纳米空心阵列减反射膜及其制备方法。该减反射膜的内部是由排列整齐致密的纳米空心球单层二氧化硅和二氧化钛交替叠加构成的具有闭孔结构的多层膜,层数为2-30层,最外层为致密封闭的二氧化硅膜层。其制备方法包括以下步骤:以正硅酸乙酯、去离子水、酸催化剂、无水乙醇为原料,制备溶胶A,向其中加入聚苯乙烯颗粒得到悬浮液C;以钛酸四丁酯、去离子水、无水乙醇、二乙醇胺为原料,制备溶胶B,向其中加入聚苯乙烯颗粒得到悬浮液D;将清洁后的玻璃在悬浮液C中进行提拉镀膜后退火,再将镀膜玻璃在悬浮液D中进行提拉镀膜后退火,重复该操作1-25次;最后在溶胶A中进行提拉后退火,得到表面封闭、内部纳米空心阵列结构的减反射膜。
公开/授权文献
- CN106892576B 一种多层纳米空心阵列减反射膜及其制备方法 公开/授权日:2019-07-16