发明授权
- 专利标题: 一种电镀装置
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申请号: CN201710289002.0申请日: 2017-04-27
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公开(公告)号: CN106917132B公开(公告)日: 2018-12-07
- 发明人: 李安生 , 张克 , 贺晓乾
- 申请人: 北京纽堡科技有限公司
- 申请人地址: 北京市通州区台湖镇外郞营248号
- 专利权人: 北京纽堡科技有限公司
- 当前专利权人: 纽堡科技(天津)有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市通州区台湖镇外郞营248号
- 代理机构: 北京易捷胜知识产权代理事务所
- 代理商 蔡晓敏
- 主分类号: C25D17/00
- IPC分类号: C25D17/00 ; C25D21/10 ; C25D21/06 ; C25D21/02
摘要:
本发明属于电镀技术领域,尤其涉及一种电镀装置。电镀装置包括槽体,以及设置在槽体内的溶液、阳极和阴极,其中,所述阴极和阳极之间形成有供溶液流通的通道,位于所述槽体的底部设置有用于控制溶液从通道流过的射流装置。本发明提供的电镀装置,通过射流装置的设置,可以使溶液在阴极和阳极之间循环,可以保证所有镀层接触面的温度均匀一致和溶液中各种离子浓度均匀一致。通过阳极挡板的隔离,能够确保镀层上电流密度的均匀一致性,进而可以提高镀层的均匀性。
公开/授权文献
- CN106917132A 一种电镀装置 公开/授权日:2017-07-04