一种新型微流量气体质量流量控制器
摘要:
一种新型微流量气体质量流量控制器,包括进口盖、密封圈1、紧固件、弹簧、阀芯、套筒、钢球、密封圈2、顶杆和锁紧螺母。通过套筒与阀芯之间形成的4μm~10μm径向间隙构成节流环缝,当气态工质由进气口进入控制器后,通过该节流环缝实现微流量控制,实现特定压力下20μg/s~2mg/s微小流量的精确输出。本发明采用阀芯与阀套为孔轴配合,通过环缝实现节流控制,加工工艺简单,可靠性高,抗污染能力强。利用调节装置调节阀芯位置,调节范围大,能精确调节特定压力下控制器的流量输出。通过调节进口压力,流量输出范围变化大,流量控制范围可达100倍以上,可适用于系统多模式工作状态以及需要工质流量连续可变的场合。
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