发明授权
- 专利标题: 一种新型微流量气体质量流量控制器
-
申请号: CN201710077778.6申请日: 2017-02-14
-
公开(公告)号: CN106919190B公开(公告)日: 2019-12-20
- 发明人: 张曦 , 张鑫彬 , 郭加利 , 王玥 , 鲜亚平
- 申请人: 上海航天控制技术研究所
- 申请人地址: 上海市闵行区中春路1555号
- 专利权人: 上海航天控制技术研究所
- 当前专利权人: 上海航天控制技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区中春路1555号
- 代理机构: 中国航天科技专利中心
- 代理商 杨春颖
- 主分类号: G05D7/01
- IPC分类号: G05D7/01
摘要:
一种新型微流量气体质量流量控制器,包括进口盖、密封圈1、紧固件、弹簧、阀芯、套筒、钢球、密封圈2、顶杆和锁紧螺母。通过套筒与阀芯之间形成的4μm~10μm径向间隙构成节流环缝,当气态工质由进气口进入控制器后,通过该节流环缝实现微流量控制,实现特定压力下20μg/s~2mg/s微小流量的精确输出。本发明采用阀芯与阀套为孔轴配合,通过环缝实现节流控制,加工工艺简单,可靠性高,抗污染能力强。利用调节装置调节阀芯位置,调节范围大,能精确调节特定压力下控制器的流量输出。通过调节进口压力,流量输出范围变化大,流量控制范围可达100倍以上,可适用于系统多模式工作状态以及需要工质流量连续可变的场合。
公开/授权文献
- CN106919190A 一种新型微流量气体质量流量控制器 公开/授权日:2017-07-04