- 专利标题: 鳍部掺杂方法及鳍式场效应晶体管的制作方法
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申请号: CN201511003228.7申请日: 2015-12-28
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公开(公告)号: CN106920740B公开(公告)日: 2019-09-27
- 发明人: 赵杰
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 吴敏
- 主分类号: H01L21/225
- IPC分类号: H01L21/225 ; H01L21/336
摘要:
一种鳍部掺杂方法及鳍式场效应晶体管的制作方法,对于鳍部掺杂方法,热退火过程中,鳍部之间的半导体衬底表面具有底部扩散阻挡层,可以防止其上的P型离子扩散源中的P型离子、N型离子扩散源中的N型离子扩散入半导体衬底中,因而,同一阱区内或相邻阱区的各鳍式场效应晶体管源区/漏区不会导通,避免了读写过程中出现串扰,提高了鳍式场效应晶体管的性能。此外,由于具有底部扩散阻挡层,P型离子扩散源上的N型离子扩散源中的N型离子无法扩散入衬底,或N型离子扩散源上的P型离子扩散源中的P型离子无法扩散入衬底,因而上层离子扩散源不必去除,节省工序。
公开/授权文献
- CN106920740A 鳍部掺杂方法及鳍式场效应晶体管的制作方法 公开/授权日:2017-07-04
IPC分类: