鳍部掺杂方法及鳍式场效应晶体管的制作方法
摘要:
一种鳍部掺杂方法及鳍式场效应晶体管的制作方法,对于鳍部掺杂方法,热退火过程中,鳍部之间的半导体衬底表面具有底部扩散阻挡层,可以防止其上的P型离子扩散源中的P型离子、N型离子扩散源中的N型离子扩散入半导体衬底中,因而,同一阱区内或相邻阱区的各鳍式场效应晶体管源区/漏区不会导通,避免了读写过程中出现串扰,提高了鳍式场效应晶体管的性能。此外,由于具有底部扩散阻挡层,P型离子扩散源上的N型离子扩散源中的N型离子无法扩散入衬底,或N型离子扩散源上的P型离子扩散源中的P型离子无法扩散入衬底,因而上层离子扩散源不必去除,节省工序。
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