发明授权
- 专利标题: 一种3D NAND存储器件及其制造方法
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申请号: CN201710135329.2申请日: 2017-03-08
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公开(公告)号: CN106920794B公开(公告)日: 2018-11-30
- 发明人: 吕震宇 , 施文广 , 吴关平 , 万先进 , 陈保友
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 王宝筠
- 主分类号: H01L27/11519
- IPC分类号: H01L27/11519 ; H01L27/11551 ; H01L27/11565 ; H01L27/11578
摘要:
本发明提供了一种3D NAND存储器件,包括:基底;基底上的第一存储区,第一存储区包括字线堆叠层以及字线堆叠层中的沟道孔,字线堆叠层的侧壁为阶梯结构;在阶梯结构中具有子阶梯区域,子阶梯区域为氧化物层和氮化物层的叠层,子阶梯区域沿字线方向延伸至阶梯结构的边缘,在子阶梯区域与阶梯结构相接的侧壁上设置有绝缘层;在子阶梯区域中设置有贯通接触孔;子阶梯区域之外的阶梯结构中的栅线缝隙。这种结构的贯通接触孔便于实现存储器件同CMOS芯片的连接,且易于同现有的工艺集成,特别是当堆叠层的厚度不断增加后,无需刻蚀金属堆叠来形成贯通接触孔,利于工艺的实现和集成度的不断提高。
公开/授权文献
- CN106920794A 一种3D NAND存储器件及其制造方法 公开/授权日:2017-07-04
IPC分类: