一种3D NAND存储器件及其制造方法
摘要:
本发明提供了一种3D NAND存储器件,包括:基底;基底上的第一存储区,第一存储区包括字线堆叠层以及字线堆叠层中的沟道孔,字线堆叠层的侧壁为阶梯结构;在阶梯结构中具有子阶梯区域,子阶梯区域为氧化物层和氮化物层的叠层,子阶梯区域沿字线方向延伸至阶梯结构的边缘,在子阶梯区域与阶梯结构相接的侧壁上设置有绝缘层;在子阶梯区域中设置有贯通接触孔;子阶梯区域之外的阶梯结构中的栅线缝隙。这种结构的贯通接触孔便于实现存储器件同CMOS芯片的连接,且易于同现有的工艺集成,特别是当堆叠层的厚度不断增加后,无需刻蚀金属堆叠来形成贯通接触孔,利于工艺的实现和集成度的不断提高。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件(其零部件入H01L23/00,H01L29/00至H01L51/00;由多个单个固态器件组成的组装件入H01L25/00)
H01L27/02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04 ..其衬底为半导体的
H01L27/10 ...在重复结构中包括有多个独立组件的
H01L27/105 ....包含场效应组件的
H01L27/112 .....只读存储器结构的
H01L27/115 ...... · · · · ·电动编程只读存储器;其多步骤制造方法
H01L27/11517 ....... · · · · · ·具有浮栅的
H01L27/11519 ........ · · · · · · ·以顶视图布局为特征的
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