发明授权
摘要:
本发明提供了一种谐振式力传感器,包括薄片式基体。基体包括自由端和固定端,在基体内开有通孔,通孔包括靠近固定端的第一部分和靠近自由端的第二部分。通孔的第一部分和第二部分具有不相等的长度和宽度。该谐振式力传感器还包括沿着从自由端到固定端的方向延伸并固定在通孔内的振弦。振弦被预张紧。该谐振式力传感器还包括用于使振弦产生振动的激励器,以及用于检测振弦振动的检测器。
公开/授权文献
- CN106932126A 一种力传感器 公开/授权日:2017-07-07