一种光阻涂布装置及喷嘴
Abstract:
本发明提供一种光阻涂布装置及喷嘴,所述喷嘴包括内部形成有一空腔的喷嘴本体,所述空腔设置有注入孔、排气孔以及排出孔;所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部,其中所述排气孔位于所述空腔的顶部,用于将所述空腔内的气体排出,所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部,或者所述注入孔位于所述空腔的底部,用于注入光阻液。通过上述方式,本发明能够将喷嘴内的空气尽可能地排出,能够减少因喷嘴内的气泡而造成产品不良的现象,提高产品良率。
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