本发明公开了一种用于不同直径电极夹持的蠕动复合主轴机构,属于特种加工特别是电火花加工技术领域,机构包括上安装板、下安装板、S轴模组、Z轴模组、旋转传动机构、电动球阀、常闭夹子机构、常开夹子机构；旋转传动机构、电动球阀、常闭夹子机构固定安装在上安装板上，常开夹子机构通过常开夹子支架安装在下安装板上，上安装板与S轴模组的滑块连接，下安装板与Z轴模组滑块连接，通过Z轴、S轴模组之间的相对运动及常闭夹子机构、常开夹子机构的交替开合实现电极的蠕动进给与补偿。本发明运用于航空发动机涡轮叶片气膜冷却群孔加工，可实现工具电极的前推式蠕动进给、中空高压冲液密封、不同直径电极对中性夹持及其高精度旋转的多种功能。