在经调节压力下使用氦的高温工艺改进
Abstract:
本发明公开了在经调节压力下使用氦的高温工艺改进。具体地,本发明涉及一种用于在用于处理材料诸如生长晶体的真空熔炉中减少多余的辅助反应的方法。该工艺在熔炉腔室环境中执行,其中容许氦气以用于冲除杂质的流率并且以用于在热区中实现热稳定性的预定压力进入熔炉腔室,以减小热流变化并且减小热区中的温度梯度。在冷却期间,使用氦压力来降低热梯度从而增加冷却速率。
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