发明授权
- 专利标题: 多阈值电压鳍式晶体管的形成方法
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申请号: CN201610006598.4申请日: 2016-01-06
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公开(公告)号: CN106952874B公开(公告)日: 2019-11-01
- 发明人: 李勇
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 徐文欣; 吴敏
- 主分类号: H01L21/8238
- IPC分类号: H01L21/8238 ; H01L29/49
摘要:
一种多阈值电压鳍式晶体管的形成方法,包括:提供包括第一N型阈值区、第二N型阈值区、第一P型阈值区和第二P型阈值区的衬底,衬底表面分别具有鳍部;在衬底表面形成隔离层;在隔离层和鳍部表面形成介质层,介质层内具有第一沟槽、第二沟槽、第三沟槽、第四沟槽;在第一沟槽、第二沟槽、第三沟槽和第四沟槽底部形成栅介质层;在第三沟槽内形成第一P型功函数层;在第一P型功函数层表面以及第一沟槽、第二沟槽和第四沟槽内形成第二P型功函数层;在第一沟槽内的第二P型功函数层上形成第一N型功函数层;在第一N型功函数层以及第二沟槽、第三沟槽和第四沟槽内形成第二N型功函数层。形成多阈值电压鳍式晶体管的方法简单。
公开/授权文献
- CN106952874A 多阈值电压鳍式晶体管的形成方法 公开/授权日:2017-07-14
IPC分类: