发明授权
- 专利标题: 一种单面抛光装置
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申请号: CN201710136968.0申请日: 2017-03-09
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公开(公告)号: CN106956211B公开(公告)日: 2019-05-14
- 发明人: 刘南柳 , 陈蛟 , 胡楚雄 , 付松 , 张国义
- 申请人: 东莞市中镓半导体科技有限公司
- 申请人地址: 广东省东莞市企石镇东平科技工业园
- 专利权人: 东莞市中镓半导体科技有限公司
- 当前专利权人: 东莞市中镓半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市企石镇东平科技工业园
- 代理机构: 广州粤高专利商标代理有限公司
- 代理商 罗晓林; 杨桂洋
- 主分类号: B24B37/10
- IPC分类号: B24B37/10 ; B24B37/005 ; B24B37/34 ; B24B39/06
摘要:
本发明公开了一种单面抛光装置,包括下抛光盘和设在该下抛光盘内的游星轮,下抛光盘通过下转轴与驱动机构连接,游星轮内设有用于放置待抛光材料的通孔,所述游星轮的通孔中活动放置有压住待抛光材料的压重块,该压重块上装设有压重控制系统,该压重控制系统包括竖杆、横杆和上旋转轴,竖杆的下端与压重块连接、上端与横杆一端连接,横杆另一端与上旋转轴连接。本发明通过压重控制系统,调节压重块的位置与重心,来控制待抛光材料的抛光表面各处的压力值,从而得到良好的抛光后表面质量。
公开/授权文献
- CN106956211A 一种单面抛光装置 公开/授权日:2017-07-18