发明公开
CN106959079A 一种改进型聚焦三维形貌测量方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种改进型聚焦三维形貌测量方法
- 专利标题(英): Improved focusing three-dimensional morphology measurement method
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申请号: CN201710187268.4申请日: 2017-03-27
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公开(公告)号: CN106959079A公开(公告)日: 2017-07-18
- 发明人: 左芬 , 边心田 , 雷枫
- 申请人: 淮阴师范学院
- 申请人地址: 江苏省淮安市长江西路111号
- 专利权人: 淮阴师范学院
- 当前专利权人: 淮阴师范学院
- 当前专利权人地址: 江苏省淮安市长江西路111号
- 代理机构: 北京捷诚信通专利事务所
- 代理商 王卫东
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24
摘要:
本发明公开了一种改进型聚焦三维形貌测量方法,该方法包括:采用低相干的白光干涉测量系统,连续采集得到具有光滑表面的被测物体的多幅高对比度的干涉图像;计算出每一幅图像中的每个像素坐标点的聚焦因子的最大值;根据所有像素坐标点的聚焦因子的最大值确定所有像素坐标点的精准聚焦位置,从而恢复出具有光滑表面的被测物体的三维形貌。本发明通过采用低相干的白光干涉测量系统,连续采集得到具有光滑表面的被测物体的多幅高对比度的干涉图像,根据所有像素坐标点的聚焦因子的最大值确定所有像素坐标点的精准聚焦位置,从而恢复出被测的光滑表面物体的三维形貌,具有自动化程度高,测量操作简便,测量精度较高和易于普及推广等优点。