一种胶体溶液制备及镀膜装置及镀膜方法
摘要:
本发明涉及一种胶体溶液制备及镀膜装置及镀膜方法,属于薄膜制备领域,包括:多组组分溶液存储容器;每组组分溶液存储容器连接的一级组分溶液滴定速度控制器;与每组组分溶液滴定速度控制器的出口连接的胶体溶液反应器;与所述胶体溶液反应器出口连接的中间级组分溶液滴定速度控制器;与中间级组分溶液滴定速度控制器连接的胶体溶液存储器;与所述胶体溶液存储器的出口连接的末级组分溶液滴定速度控制器;与所述末级组分溶液滴定速度控制器出口连接的导管;以及,导管将胶体导入到的浸渍镀膜装置进行镀膜。通过精确的控制胶体溶液配制和镀膜过程,保证化学组成、厚度、光学性质均匀一致性,满足纳米功能薄膜的制备要求。
公开/授权文献
0/0