Invention Publication
CN107001030A 用于制造微柱阵列的系统和方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 用于制造微柱阵列的系统和方法
- Patent Title (English): System and method for manufacturing micropillar array
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Application No.: CN201580061637.4Application Date: 2015-11-19
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Publication No.: CN107001030APublication Date: 2017-08-01
- Inventor: S·乌尼克里西南 , R·J·亨德里克斯
- Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
- Applicant Address: 荷兰海牙
- Assignee: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
- Current Assignee: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
- Current Assignee Address: 荷兰海牙
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 杨丽; 钱孟清
- Priority: 14193835.7 20141119 EP
- International Application: PCT/NL2015/050807 2015.11.19
- International Announcement: WO2016/080831 EN 2016.05.26
- Date entered country: 2017-05-12
- Main IPC: B81C1/00
- IPC: B81C1/00 ; C09D11/00 ; G03F7/004 ; G03F7/20 ; G03F7/40

Abstract:
一种用于制造微柱阵列(20)的系统和方法。载体(11)被提供有金属油墨(20i)层。高能量光源(14)经由载体(11)和光源之间的掩模(13)照射金属油墨(20i)。掩模被配成将微柱阵列的横截面照射图像转移到金属油墨(20i)上,从而导致金属油墨(20i)的图案化烧结,以便在金属油墨(20i)层中形成微柱阵列(20)的第一分段层(21)。另一层金属油墨(20i)被施加在微柱阵列(20)的第一分段层(21)的顶部之上,并经由掩模(13)被照射以在上面形成微柱阵列的第二分段层(21)。该过程被重复以实现高纵横比的微柱20p。
Public/Granted literature
- CN107001030B 用于制造微柱阵列的系统和方法 Public/Granted day:2019-05-31
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