发明公开
- 专利标题: 光学装置的光轴对准方法及装置以及光学装置的制造方法
- 专利标题(英): Optical axis alignment method and device for optical device, and optical device manufacturing method
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申请号: CN201680003781.7申请日: 2016-01-15
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公开(公告)号: CN107003493A公开(公告)日: 2017-08-01
- 发明人: 下野真也 , 小寺秀和 , 森田大辅
- 申请人: 三菱电机株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 三菱电机株式会社
- 当前专利权人: 三菱电机株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 肖靖
- 优先权: 2015-009324 20150121 JP
- 国际申请: PCT/JP2016/051155 2016.01.15
- 国际公布: WO2016/117472 JA 2016.07.28
- 进入国家日期: 2017-05-24
- 主分类号: G02B7/00
- IPC分类号: G02B7/00 ; G02B6/42 ; G02B7/02
摘要:
本发明涉及一种光学装置的光轴对准方法等。首先拍摄透镜支撑装置以及支撑装置底座,取得激光照射前的外形信息(Q1)。接下来,检测从准直透镜射出的光束的位置信息(Q2)。接下来,照射激光而使其塑性变形,调整准直透镜的位置(Q3)。接下来,拍摄透镜支撑装置以及支撑装置底座,取得激光照射后的新的外形信息(Q4)。接下来,检测从准直透镜射出的光束行进的光路的新的位置信息(Q5)。如果光轴对准不在容许范围,则根据在激光照射的前后得到的外形信息以及/或者位置信息,变更激光照射条件(Q7),重复进行基于激光照射的透镜位置调整(Q3)。通过这样的手法,能够高精度且短时间地实施光轴对准。
IPC分类:
G | 物理 |
G02 | 光学 |
G02B | 光学元件、系统或仪器 |
G02B7/00 | 光学元件的安装、调整装置或不漏光连接 |