发明授权
- 专利标题： 正型感光性树脂组合物
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申请号： CN201580065289.8申请日： 2015-12-01
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公开(公告)号： CN107003607B公开(公告)日： 2021-05-28
- 发明人: 竹田佳代 , 畑中真
- 申请人： 日产化学工业株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 日产化学工业株式会社
- 当前专利权人： 日产化学工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理商 孙丽梅; 段承恩
- 优先权： 2014-245972 20141204 JP
- 国际申请： PCT/JP2015/083771 2015.12.01
- 国际公布： WO2016/088757 JA 2016.06.09
- 进入国家日期： 2017-06-01
- 主分类号： G03F7/023
- IPC分类号： G03F7/023 ; C08F220/06 ; G03F7/004 ; G03F7/075 ; H01L21/027 ; H01L51/50 ; H05B33/22
摘要：
本发明的课题是提供下述正型感光性树脂组合物：其能够在维持显影时的密合性的状态下以高灵敏度进行图案形成，能够形成图案内残渣少的固化膜。本发明的解决方法是含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)溶剂的正型感光性树脂组合物。(A)成分：使下述(A1)～(A4)共聚而得的碱溶性丙烯酸系共聚物，(A1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐，(A2)具有酚性羟基和聚合性不饱和基团的单体，(A3)具有羟基烷基和聚合性不饱和基团的单体，(A4)N取代马来酰亚胺化合物；(B)成分：1,2‑醌重氮化合物，(C)成分：交联剂，(D)溶剂。
公开/授权文献
- CN107003607A 正型感光性树脂组合物 公开/授权日：2017-08-01
IPC分类:
