平板吸盘的真空发生器的真空度检测装置及其使用方法
摘要:
本发明提供一种涉及真空度检测技术领域的平板吸盘的真空发生器的真空度检测装置及其使用方法,包括检测装置本体,检测装置本体的内部设有中空腔室,检测装置本体的压紧面覆盖于通气侧面上,压紧面上设有若干个贯通孔,相邻两个所述贯通孔之间还设有孔间连通部,检测装置本体上设有安装孔,安装孔的中轴线通过其中一个所述贯通孔;垫块填充于检测装置本体中,垫块上设有块体通孔;负压表的表杆依次穿过安装孔和块体通孔,且与安装孔和块体通孔连接。本发明使用时,真空发生器的抽气后,真空发生器的通气侧面吸住检测装置本体;负压表上显示实际真空度数值,将实际真空度数值与预设的理论真空度数值比较,判断真空发生器的清洁是否合格。
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