一种超声波清洗装置及基板处理系统
摘要:
本发明提供一种超声波清洗装置及基板处理系统,涉及显示技术领域,该超声波清洗装置对基板的吹扫清洁效率高,并且当该清洗装置具体应用于基板处理系统中时,可以显著提高进入处理装置内的基板的表面清洁度,避免基板表面经过处理后产生大量杂质残留。该超声波清洗装置包括,吹气单元,用于向待清洗的物体表面喷出气流;超声波振荡发生器,用于使从吹气单元中喷出的气流发生振荡;抽气单元,用于收集从待清洗的物体表面吹扫出的杂质。
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