发明授权
CN107020285B 一种超声波清洗装置及基板处理系统
失效 - 权利终止
- 专利标题： 一种超声波清洗装置及基板处理系统
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申请号： CN201710258646.3申请日： 2017-04-19
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公开(公告)号： CN107020285B公开(公告)日： 2021-01-15
- 发明人: 郭淳 , 刘建辉 , 孟盼盼 , 冯忠 , 李鹏 , 许道先 , 周庆高 , 钟亮 , 董康旭 , 刘祖宏 , 侯智
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构： 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号： B08B11/04
- IPC分类号： B08B11/04 ; B08B5/02 ; B08B5/04 ; B08B13/00 ; H01L21/67
摘要：
本发明提供一种超声波清洗装置及基板处理系统，涉及显示技术领域，该超声波清洗装置对基板的吹扫清洁效率高，并且当该清洗装置具体应用于基板处理系统中时，可以显著提高进入处理装置内的基板的表面清洁度，避免基板表面经过处理后产生大量杂质残留。该超声波清洗装置包括，吹气单元，用于向待清洗的物体表面喷出气流；超声波振荡发生器，用于使从吹气单元中喷出的气流发生振荡；抽气单元，用于收集从待清洗的物体表面吹扫出的杂质。
公开/授权文献
- CN107020285A 一种超声波清洗装置及基板处理系统 公开/授权日：2017-08-08
IPC分类:
