发明公开
- 专利标题: 一种低压等离子喷涂TiN涂层的方法
- 专利标题(英): Low-pressure plasma spraying method for tin coating
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申请号: CN201710208423.6申请日: 2017-03-31
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公开(公告)号: CN107022730A公开(公告)日: 2017-08-08
- 发明人: 刘敏 , 宋琛 , 廖汉林 , 邓春明 , 周克崧 , 邓子谦 , 毛杰 , 邓畅光 , 牛少鹏
- 申请人: 广东省新材料研究所
- 申请人地址: 广东省广州市天河区长兴路363号
- 专利权人: 广东省新材料研究所
- 当前专利权人: 广东省新材料研究所
- 当前专利权人地址: 广东省广州市天河区长兴路363号
- 代理机构: 广东世纪专利事务所
- 代理商 千知化
- 主分类号: C23C4/134
- IPC分类号: C23C4/134 ; C23C4/10 ; C23C4/02
摘要:
本发明提供一种低压等离子喷涂TiN涂层的方法。步骤是在低压条件下,采用高功率等离子喷枪喷涂Ti粉,以氮气作为等离子工作气体和反应气体,实现等离子体喷涂‑物理气相沉积TiN涂层。本发明制备的TiN涂层为柱状结构,其成分纯度高,晶粒细小,组织致密,可有效改善工件表面性能。涂层与工件之间存在渗氮层,可有效提高涂层与工件的结合强度。本发明工艺简单,沉积效率高,适用于大面积快速喷涂TiN涂层。
公开/授权文献
- CN107022730B 一种低压等离子喷涂TiN涂层的方法 公开/授权日:2019-10-01
IPC分类: