一种低压等离子喷涂TiN涂层的方法
摘要:
本发明提供一种低压等离子喷涂TiN涂层的方法。步骤是在低压条件下,采用高功率等离子喷枪喷涂Ti粉,以氮气作为等离子工作气体和反应气体,实现等离子体喷涂‑物理气相沉积TiN涂层。本发明制备的TiN涂层为柱状结构,其成分纯度高,晶粒细小,组织致密,可有效改善工件表面性能。涂层与工件之间存在渗氮层,可有效提高涂层与工件的结合强度。本发明工艺简单,沉积效率高,适用于大面积快速喷涂TiN涂层。
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