一种基于光学相移的跨尺度表面形貌测量装置及方法
摘要:
本发明公开了一种基于光学相移的跨尺度表面形貌测量装置及方法,装置包括计算机、光强可控式白光光源、第一透镜、滤光片旋转盘、分光棱镜、第二透镜、第三透镜、CCD相机、空间光调制器SLM、第四透镜;本发明利用纯相位调制式液晶空间光调制器实现精确的光学相移,应用光强可调的白光光源和四个带通滤波片得到四种光强分布一致的单色光,并利用多波长干涉的原理,通过合理尺寸衔接实现测量范围的拓展。在重复光学相移中,以轮换滤光片方式获取不同波长的干涉图像序列,并运用优化的四步相移法进行逐点逐帧相位运算,得到大尺度范围内形貌点高度。本发明既能满足跨尺度的测量范围要求,又能保持单波长干涉的纳米精度,具有重要的应用价值。
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