发明授权
CN107069156B 一种低成本太赫兹频率选择表面加工系统及方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种低成本太赫兹频率选择表面加工系统及方法
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申请号: CN201710234656.3申请日: 2017-04-12
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公开(公告)号: CN107069156B公开(公告)日: 2019-12-31
- 发明人: 王向峰 , 林炎章 , 高炳攀 , 陈燕青
- 申请人: 福州大学
- 申请人地址: 福建省福州市闽侯县上街镇大学城学园路2号福州大学新区
- 专利权人: 福州大学
- 当前专利权人: 福州大学
- 当前专利权人地址: 福建省福州市闽侯县上街镇大学城学园路2号福州大学新区
- 代理机构: 福州元创专利商标代理有限公司
- 代理商 蔡学俊
- 主分类号: H01P1/20
- IPC分类号: H01P1/20 ; H01P11/00
摘要:
本发明涉及一种低成本太赫兹频率选择表面加工系统及方法,包括飞秒激光器、光阑、能量衰减模块、快门、二向色镜、CCD相机、单筒镜头、移动平台、同轴光源、物镜以及计算机;所述飞秒激光器发出的激光依次经所述光阑、能量衰减模块、快门、二向色镜、物镜聚焦在固定于所述移动平台上的样品上得到一聚焦光斑;加工过程中使用所述同轴光源发光经所述物镜聚焦照亮加工位置,其反射光经过所述单筒镜头照射到所述CCD相机上成像并在所述计算机上显示,用以辅助调整聚焦光斑质量并实时观察加工质量;所述能量衰减模块包括λ/2波片以及格兰棱镜,所述样品为铝箔;所述快门用以控制激光通断。本发明工艺简单、成本低廉。
公开/授权文献
- CN107069156A 一种低成本太赫兹频率选择表面加工系统及方法 公开/授权日:2017-08-18