包括机械预加载悬架弹簧的MEMS传感器结构
摘要:
描述了一种包括预加载悬挂弹簧的MEMS传感器和用于机械预加载MEMS传感器的悬挂弹簧的方法。所述MEMS传感器包括:MEMS支承结构;连接到所述支承结构的多个悬挂弹簧;以及由所述悬挂弹簧柔性地悬挂的检验质量块;其中,所述悬挂弹簧中的至少一个被机械预加载有压缩力,用于减小所述质量块的自然频率。
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