- 专利标题: 包括机械预加载悬架弹簧的MEMS传感器结构
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申请号: CN201580039226.5申请日: 2015-06-08
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公开(公告)号: CN107074527B公开(公告)日: 2019-12-17
- 发明人: E·赫尼斯 , A·伯托里尼 , J·F·万德布兰登
- 申请人: 斯蒂廷VU-VUMC公司 , 弗姆尼克赫夫公司
- 申请人地址: 荷兰阿姆斯特丹
- 专利权人: 斯蒂廷VU-VUMC公司,弗姆尼克赫夫公司
- 当前专利权人: 斯蒂廷VU-VUMC公司,弗姆尼克赫夫公司
- 当前专利权人地址: 荷兰阿姆斯特丹
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 申发振
- 优先权: 2012967 2014.06.06 NL
- 国际申请: PCT/EP2015/001150 2015.06.08
- 国际公布: WO2015/185222 EN 2015.12.10
- 进入国家日期: 2017-01-19
- 主分类号: B81B3/00
- IPC分类号: B81B3/00
摘要:
描述了一种包括预加载悬挂弹簧的MEMS传感器和用于机械预加载MEMS传感器的悬挂弹簧的方法。所述MEMS传感器包括:MEMS支承结构;连接到所述支承结构的多个悬挂弹簧;以及由所述悬挂弹簧柔性地悬挂的检验质量块;其中,所述悬挂弹簧中的至少一个被机械预加载有压缩力,用于减小所述质量块的自然频率。
公开/授权文献
- CN107074527A 包括机械预加载悬架弹簧的MEMS传感器结构 公开/授权日:2017-08-18