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扫描型探针显微镜
摘要:
提供一种扫描型探针显微镜,能够排除振动干扰的影响,正确并高分辨率地获得样品S的表面信息,扫描型探针显微镜(1)构成为具备主体部(10)与控制部(30),所述主体部(10)具有:悬臂(21),具有探针(21a);传感器(23),检测悬臂(21)的位移;XYZ驱动机构(25),使悬臂(21)或者样品S移动;除振机构(12),所述控制部(30)控制XYZ驱动机构(25)并且获取样品S的测量范围的表面信息,所述扫描型探针显微镜(1)还具备:无线支架(60),具有供电线圈(63)与支架侧收发部(64);电源信号缆线(42),连接无线支架(60)与控制部(30),主体部(10)具有:高电压发生电路(15),用于驱动XYZ驱动机构(25);受电线圈(13);主体部侧收发部(14),用于与支架侧收发部(64)通信。
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