发明授权
CN107076779B 扫描型探针显微镜
失效 - 权利终止
- 专利标题: 扫描型探针显微镜
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申请号: CN201480081888.4申请日: 2014-10-24
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公开(公告)号: CN107076779B公开(公告)日: 2019-11-01
- 发明人: 池田雄一郎
- 申请人: 株式会社岛津制作所
- 申请人地址: 日本国京都府
- 专利权人: 株式会社岛津制作所
- 当前专利权人: 株式会社岛津制作所
- 当前专利权人地址: 日本国京都府
- 代理机构: 上海立群专利代理事务所
- 代理商 毛立群; 杨楷
- 国际申请: PCT/JP2014/078310 2014.10.24
- 国际公布: WO2016/063407 JA 2016.04.28
- 进入国家日期: 2017-03-13
- 主分类号: G01Q90/00
- IPC分类号: G01Q90/00
摘要:
提供一种扫描型探针显微镜,能够排除振动干扰的影响,正确并高分辨率地获得样品S的表面信息,扫描型探针显微镜(1)构成为具备主体部(10)与控制部(30),所述主体部(10)具有:悬臂(21),具有探针(21a);传感器(23),检测悬臂(21)的位移;XYZ驱动机构(25),使悬臂(21)或者样品S移动;除振机构(12),所述控制部(30)控制XYZ驱动机构(25)并且获取样品S的测量范围的表面信息,所述扫描型探针显微镜(1)还具备:无线支架(60),具有供电线圈(63)与支架侧收发部(64);电源信号缆线(42),连接无线支架(60)与控制部(30),主体部(10)具有:高电压发生电路(15),用于驱动XYZ驱动机构(25);受电线圈(13);主体部侧收发部(14),用于与支架侧收发部(64)通信。
公开/授权文献
- CN107076779A 扫描型探针显微镜 公开/授权日:2017-08-18