• 专利标题: 一种微纳光纤迈克尔逊干涉式氢气传感器及其制备方法
  • 专利标题(英): Micro-nanofiber Michelson interferometric hydrogen sensor and preparation method thereof
  • 申请号: CN201710475234.5
    申请日: 2017-06-21
  • 公开(公告)号: CN107101960A
    公开(公告)日: 2017-08-29
  • 发明人: 廖常锐王义平杨天航
  • 申请人: 深圳大学
  • 申请人地址: 广东省深圳市南山区南海大道3688号
  • 专利权人: 深圳大学
  • 当前专利权人: 深圳大学
  • 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区南海大道3688号
  • 代理机构: 深圳市恒申知识产权事务所
  • 代理商 王利彬
  • 主分类号: G01N21/31
  • IPC分类号: G01N21/31 G01J3/45
一种微纳光纤迈克尔逊干涉式氢气传感器及其制备方法
摘要:
本发明适用于传感器技术领域,提供了一种微纳光纤迈克尔逊干涉式氢气传感器,包括宽带光源单元,用于产生预置宽度的宽带光并发送给耦合单元;耦合单元用于对所述宽带光进行分束,将分束得到传感检测光发送给传感光路,及将分束得到的参考光发送给参考光路;传感光路用于对传感检测光进行反射,将反射得到传感检测反射光发送给耦合单元;参考光路用于对参考光进行反射,将反射得到参考反射光发送给耦合单元;耦合单元还用于对传感检测反射光和参考反射光进行合束,将合束得到的干涉光发送给解调单元;解调单元用于对干涉光进行检测与解调,得到干涉光谱。本发明实施例提供的传感器制备简单、加工重复性好。
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