轴承、平的基板的加工单元、以及安装和移除旋转工具的方法
Abstract:
一种用于保持旋转加工工具(10,11)的轴承,包括两个端部滚动轴承装置(26,28)、至少一个位于所述两个端部滚动轴承装置(26,28)之间的中间滚动轴承装置(27)、以及至少一个机械致动器(32,33),所述端部和中间滚动轴承装置(26,27,28)用于与所述旋转工具(10,11)的端部(10a,10b,11a,11b)接合,所述机械致动器配置成对所述中间滚动轴承装置(27)施加径向预载力(Fo,Fo’)。
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