压力传感器和差压传感器以及使用它们的质量流量控制装置
摘要:
即使在膜片采用了不锈钢的情况下,膜片和应变传感器也不会彼此剥离,不易受到使用环境温度的影响,并且,压力传感器的灵敏度不仅仅由构成膜片的材料的力学特性支配,能够提高构成压力传感器的部件的设计自由度。为解决上述技术问题,本发明的压力传感器的特征在于,包括:因流体的压力而变形的膜片;覆盖该膜片的整面的弹性体,该弹性体的一侧与所述膜片接合;和应变传感器,该应变传感器接合设置在该弹性体的另一侧的远离与所述膜片的中心对应的位置的端部侧,将与所述膜片的变形连动的所述弹性体的变形作为应变检测,所述弹性体由具有与形成所述应变传感器的材料的线膨胀系数相近的线膨胀系数的材料构成。
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