- 专利标题: 压力传感器和差压传感器以及使用它们的质量流量控制装置
-
申请号: CN201580054213.5申请日: 2015-10-06
-
公开(公告)号: CN107110727B公开(公告)日: 2019-06-18
- 发明人: 铃木健悟 , 梅山贵博 , 坂口勇夫
- 申请人: 日立金属株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 日立金属株式会社
- 当前专利权人: 博迈立铖株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都江东区丰洲五丁目6番36号
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳; 杨艺
- 优先权: 2014-206347 2014.10.07 JP
- 国际申请: PCT/JP2015/078358 2015.10.06
- 国际公布: WO2016/056555 JA 2016.04.14
- 进入国家日期: 2017-04-06
- 主分类号: G01L9/04
- IPC分类号: G01L9/04 ; G01L13/02 ; H01L29/84
摘要:
即使在膜片采用了不锈钢的情况下,膜片和应变传感器也不会彼此剥离,不易受到使用环境温度的影响,并且,压力传感器的灵敏度不仅仅由构成膜片的材料的力学特性支配,能够提高构成压力传感器的部件的设计自由度。为解决上述技术问题,本发明的压力传感器的特征在于,包括:因流体的压力而变形的膜片;覆盖该膜片的整面的弹性体,该弹性体的一侧与所述膜片接合;和应变传感器,该应变传感器接合设置在该弹性体的另一侧的远离与所述膜片的中心对应的位置的端部侧,将与所述膜片的变形连动的所述弹性体的变形作为应变检测,所述弹性体由具有与形成所述应变传感器的材料的线膨胀系数相近的线膨胀系数的材料构成。
公开/授权文献
- CN107110727A 压力传感器和差压传感器以及使用它们的质量流量控制装置 公开/授权日:2017-08-29