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一种阴极用可视化微波烧结设备
Abstract:
一种阴极用可视化微波烧结设备属于微波烧结领域,提供了一种钪钨阴极烧结用专用小型微波烧结炉和微波烧结保温装置,主要由微波源、保温装置、不锈钢加热腔体、可视保护气氛空间组成。保温装置包括加厚隔热底座、一层刚玉坩埚、氧化铝纤维棉、二层刚玉坩埚、氧化钨层、三层刚玉坩埚、带孔刚玉盖子。加热腔体通过功率高达3千瓦的微波源直接进行能量转换,将微波能输送到样品中,腔体顶部设有红外测温装置。可视保护气氛空间与真空、气氛控制系统相连,为样品烧结提供精确可控气氛。本发明具有以下优点:烧结过程全程可视,重复性高;高纯氧化钨层对阴极无污染,且能防止微波打火现象;微波场强均匀,实现了阴极均匀烧结。
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