一种声表面波传感器芯片结构及传感器
摘要:
本发明公开了一种声表面波传感器芯片结构,该结构包括,压电基片(21)和叉指换能器(20);其中,叉指换能器(20)包括汇流条(22)和电极部分(23),电极部分(23)设置为尖角结构;压电基片(21)用于积聚电能;叉指换能器(20)用于将电能转化为机械能,在传播路径上调制声波信号,通过逆压电效应,将机械能转化为电能,为声表面波传感器提供能量。本发明能够使SAW传感器的读写范围大大提升,实现更远距离的接收,满足传感器市场对于读写范围的需求。
公开/授权文献
0/0