发明授权
- 专利标题: 金属掺杂石墨烯及其成长方法
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申请号: CN201610268853.2申请日: 2016-04-27
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公开(公告)号: CN107176601B公开(公告)日: 2019-07-05
- 发明人: 黄昆平 , 季宇文
- 申请人: 财团法人工业技术研究院
- 申请人地址: 中国台湾新竹县
- 专利权人: 财团法人工业技术研究院
- 当前专利权人: 财团法人工业技术研究院
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹县
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 秦剑
- 优先权: 105106978 20160308 TW
- 主分类号: C01B32/186
- IPC分类号: C01B32/186 ; C23C16/12 ; C23C16/14 ; C23C16/26 ; C23C16/511
摘要:
一种金属掺杂石墨烯及其成长方法。所述金属掺杂石墨烯包括石墨烯与金属元素,其中金属元素占金属掺杂石墨烯总含量的1at%到30at%。所述成长方法包括以碳前驱物、金属前驱物以及VI族前驱物,经等离子体化学气相沉积法(PECVD)成长金属掺杂石墨烯。
公开/授权文献
- CN107176601A 金属掺杂石墨烯及其成长方法 公开/授权日:2017-09-19