金属掺杂石墨烯及其成长方法
摘要:
一种金属掺杂石墨烯及其成长方法。所述金属掺杂石墨烯包括石墨烯与金属元素,其中金属元素占金属掺杂石墨烯总含量的1at%到30at%。所述成长方法包括以碳前驱物、金属前驱物以及VI族前驱物,经等离子体化学气相沉积法(PECVD)成长金属掺杂石墨烯。
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