一种纳米位移执行器
摘要:
本发明是一种纳米位移执行器,在衬底(3)的上表面依次设有氧化石墨烯薄膜(2)、薄膜上方承载面(1)构成一个位移传动的承载体,其中薄膜上方承载面作为位移传动的承载面;在所述位移传动的承载体的两端分别设有左密封腔体的密闭墙(4)、右密封腔体的密闭墙(5),在左密封腔体的密闭墙的外端设有环境气氛输出控制管道口(6),在右密封腔体的密闭墙的外端设有环境气氛输入控制管道口(7),在左密封腔体的密闭墙的内端与位移传动的承载体之间设有左滑动接触装置(8),在右密封腔体的密闭墙的内端与位移传动的承载体之间设有右滑动接触装置(9),该微位移执行器提供一种新颖、高效、适合多种应用场合的途径。
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