发明公开
- 专利标题: 一种基于AFM探针结构参数的横向力标定方法
- 专利标题(英): AFM (atomic force microscope) probe structural parameter-based lateral force calibration method
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申请号: CN201710495829.7申请日: 2017-06-26
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公开(公告)号: CN107192856A公开(公告)日: 2017-09-22
- 发明人: 郑学军 , 冯东东 , 彭金峰 , 严鑫洋 , 张欢
- 申请人: 湘潭大学
- 申请人地址: 湖南省湘潭市西郊羊牯塘高岭路5号
- 专利权人: 湘潭大学
- 当前专利权人: 湘潭大学
- 当前专利权人地址: 湖南省湘潭市西郊羊牯塘高岭路5号
- 代理机构: 长沙市融智专利事务所
- 代理商 颜勇
- 主分类号: G01Q40/00
- IPC分类号: G01Q40/00
摘要:
本发明公开了一种基于AFM探针结构参数的横向力标定方法,包括下述步骤:在标准实验室环境条件下,测量待测探针法向弹性系数kn和法向灵敏度Sn;测量探针悬臂梁长度l,悬臂梁厚度t及针尖高度h;将kn、Sn、l、t、h的数据代入横向力标定系数α计算公式,即可估算探针的横向力标定系数。本发明的优点在于:(a)本方法不需要使用辅助光栅及任何衬底,可有效降低成本;(b)本方法基于待测探针的结构参数,着重考虑探针本身属性,避免了外部因素对标定的影响;(c)本方法计算简便、各参数能够简单快速获得,可广泛适用于矩形微悬臂梁的AFM探针的横向力标定。