一种金刚线切割硅棒的方法
摘要:
本发明公开了一种金刚线切割硅棒的方法,切割时,钢线正向走线至完全切入硅棒内部后再反向走线。在切割时,a、待切割的硅棒夹紧后,缓慢下降硅棒,待硅棒的最低点接触金刚线网时,将该位置设置为进刀零点;b、进刀起始位置设置为P,P>0;c、当硅棒下降至0~‑5mm范围内时,工作台下降的速度设定为V1,钢线行走的速度设定为V2,钢线正向走线距离设定为S,钢线反向走线距离设定为S1。其通过切割时钢线正向走线在完全切入硅棒后再反向走线,从而避免换向时抖动造成左右移位,解决了硅棒尺寸不均匀和操作人员零点对刀复位偏差导致的进刀侧硅片厚度不良问题。
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