一种可自动检测栅极腐蚀装置
摘要:
本发明属于栅极腐蚀检测技术领域,具体涉及一种可自动检测栅极腐蚀装置,包括壳体,壳体内设有栅极、安全房、检测机构、六轴机械模组和控制系统,安全房设于栅极的下方,检测机构与六轴机械模组连接,六轴机械模组容置于安全房内,检测机构、六轴机械模组均与所述控制系统控制连接,需要检测栅极的腐蚀情况时,六轴机械模组从安全房内滑出并将检测机构输送至栅极的待检测部位。本发明的可自动检测栅极腐蚀装置,能够对栅极所有面腐蚀的情况进行检测。
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