发明授权
- 专利标题: 一种黑硅制绒清洗机及其工艺
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申请号: CN201710572759.0申请日: 2017-07-14
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公开(公告)号: CN107221581B公开(公告)日: 2018-12-18
- 发明人: 邵玉林
- 申请人: 无锡琨圣科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市锡山区万全路30号
- 专利权人: 无锡琨圣科技有限公司
- 当前专利权人: 无锡琨圣智能装备股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市锡山区万全路30号
- 代理机构: 北京科亿知识产权代理事务所
- 代理商 汤东凤
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种黑硅制绒清洗机及其工艺,由机架、机械手板块、硅片花篮、槽体板块、冷热循环用液板块、控制台、上料台和下料台组成,所述机械手板块运载硅片花篮横向偏移和纵向升降,使硅片花篮浸入槽体板块中,所述槽体板块首尾连接冷热循环用液板块,所述控制台位于机架中部且控制机械手板块、槽体板块、冷热循环用液板块、上料台和下料台的工作状态,所述槽体板块包括32个工位槽,制成绒面反射率低,硅片表面清洗充分,实现了制绒清洗工序的自动化,碎片率较低,本发明适用于黑硅制绒清洗机及其工艺。
公开/授权文献
- CN107221581A 一种黑硅制绒清洗机及其工艺 公开/授权日:2017-09-29
IPC分类: