光学测量装置
摘要:
本发明的一个方面的光学测量装置(1)包括:光源(10),其产生具有多个波长成分的照射光;传感器头部(30),其使从光源(10)发出的照射光产生轴向色差,并接收从至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象(2)反射的反射光;光接收部(40),其将由传感器头部(30)接收的反射光分离成各波长成分,并接收各波长成分的光;导光部(20),其将光源(10)、光接收部(40)以及传感器头部(30)光学性地连接;以及处理部(50),其基于光接收部(40)中的各波长成分的受光量,计算从光学系统到测量对象的距离。处理部(50)将光接收波形中的多个波长成分的各受光量与受光量的基准值比较,当多个波长成分中的每个波长成分的所述受光量相对于基准值的变化量均为预设的阈值以上时,检测出所述光接收波形的异常。
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