本发明公开了一种用于气体绝缘开关设备的绝缘缺陷检测的内置式光电一体化传感器，包括：主盖板，其轴向方向上具有第一端面和第二端面；特高频传感器，其设于所述第二端面上；接头，其设于第一端面上，所述特高频传感器与所述接头连接；光学探头，其设于所述主盖板上，其中所述光学探头包括连接组件和柱状的导光棒，其中所述连接组件具有第一端和第二端，所述第一端与主盖板的第一端面连接，所述连接组件的第二端设有用于与光纤连接的光纤接口，所述导光棒具有近端和远端，所述导光棒的近端设于连接组件内，所述光纤接口与导光棒的近端之间具有导光孔。该传感器既适合局部放电进行特高频法检测，也可以进行光学检测。