发明授权
- 专利标题: 一种凸块缺陷检测方法
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申请号: CN201710411744.6申请日: 2017-06-05
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公开(公告)号: CN107256835B公开(公告)日: 2019-10-01
- 发明人: 陈朕
- 申请人: 中芯长电半导体(江阴)有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市江阴市长山大道78号
- 专利权人: 中芯长电半导体(江阴)有限公司
- 当前专利权人: 盛合晶微半导体(江阴)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市江阴市长山大道78号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 余明伟
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66
摘要:
本发明提供一种凸块缺陷检测方法,包括:获取第一标准影像;获取不完整裸片的黑白图像;将不完整裸片的黑白图像与第一标准影像对比,将缺失部分定义为白色缺陷并过滤掉,利用第一算法检测出不完整裸片表面的凸块缺陷;采用相同方法检测完整裸片的凸块缺陷,或者获取第二标准影像;获取完整裸片的灰度图像;将完整裸片的灰度图像与第二标准影像比对,根据第二算法筛查出完整裸片表面的凸块缺陷。本发明对不完整裸片进行表面缺陷的扫描,通过机台光学原理获取黑白图像,调用算法过滤白色缺陷,对尺寸、面积进行卡控,进而准确扫描凸块缺陷,效率和准确性都大大提高。
公开/授权文献
- CN107256835A 一种凸块缺陷检测方法 公开/授权日:2017-10-17