一种栅金属汇流条芯片结构设计及其制作方法
摘要:
本发明提供了一种栅金属汇流条芯片结构设计及其制作方法,芯片结构自下而上依次包括金属电极117、衬底111、长条形元胞掺杂区112、长条梯形多晶栅113和绝缘层116;金属汇流条114 T型设于所述绝缘层116中部,其下表面与所述长条梯形多晶栅113电连接;正面金属电极115对称设嵌于所述绝缘层116上部,与n+/p+掺杂区欧姆接触,与长条梯形多晶栅113和金属汇流条114电隔离。本发明提供的技术方案,可以在不增加工艺步骤的前提下,更改版图结构设计,采用高信号传输速率的金属作为栅汇流条替代原有的多晶栅汇流条,一方面提高功率半导体器件单芯片动态一致性,另一方面增加栅控mos沟道区,提高有源区通流能力。
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