- 专利标题: 一种栅金属汇流条芯片结构设计及其制作方法
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申请号: CN201710329921.6申请日: 2017-05-11
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公开(公告)号: CN107256857B公开(公告)日: 2021-09-10
- 发明人: 崔磊 , 金锐 , 潘艳 , 温家良 , 赵岩 , 徐哲 , 朱涛 , 和峰 , 高明超 , 赵哿 , 王耀华 , 刘江
- 申请人: 全球能源互联网研究院
- 申请人地址: 北京市昌平区未来科技城北区国网智能电网研究院院内
- 专利权人: 全球能源互联网研究院
- 当前专利权人: 全球能源互联网研究院
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区未来科技城北区国网智能电网研究院院内
- 代理机构: 北京安博达知识产权代理有限公司
- 代理商 徐国文
- 主分类号: H01L23/538
- IPC分类号: H01L23/538 ; H01L21/60
摘要:
本发明提供了一种栅金属汇流条芯片结构设计及其制作方法,芯片结构自下而上依次包括金属电极117、衬底111、长条形元胞掺杂区112、长条梯形多晶栅113和绝缘层116;金属汇流条114 T型设于所述绝缘层116中部,其下表面与所述长条梯形多晶栅113电连接;正面金属电极115对称设嵌于所述绝缘层116上部,与n+/p+掺杂区欧姆接触,与长条梯形多晶栅113和金属汇流条114电隔离。本发明提供的技术方案,可以在不增加工艺步骤的前提下,更改版图结构设计,采用高信号传输速率的金属作为栅汇流条替代原有的多晶栅汇流条,一方面提高功率半导体器件单芯片动态一致性,另一方面增加栅控mos沟道区,提高有源区通流能力。
公开/授权文献
- CN107256857A 一种栅金属汇流条芯片结构设计及其制作方法 公开/授权日:2017-10-17
IPC分类: