- 专利标题: 一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法
- 专利标题(英): Nanometer multi-layer structure WSx/DLC lubricating film and manufacturing method
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申请号: CN201710423541.9申请日: 2017-06-07
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公开(公告)号: CN107267917A公开(公告)日: 2017-10-20
- 发明人: 郑晓华 , 林玲玲 , 杨芳儿 , 鲁叶 , 常新新 , 王贡启 , 王贵葱
- 申请人: 浙江工业大学
- 申请人地址: 浙江省杭州市下城区潮王路18号
- 专利权人: 浙江工业大学
- 当前专利权人: 浙江工业大学
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市下城区潮王路18号
- 代理机构: 杭州天正专利事务所有限公司
- 代理商 黄美娟; 王兵
- 主分类号: C23C14/06
- IPC分类号: C23C14/06 ; C23C14/35 ; B82Y40/00
摘要:
本发明公开了一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法,制备方法主要包括:(1)对基体进行前处理,使其表面清洁、光滑;(2)在多靶磁控溅射沉积系统中安装WS2靶、石墨靶和前处理后的基体,并将沉积室气压抽至1.5×10-3Pa以下,调整靶基距和基体直流负偏压,通入高纯氩气并获得稳定气压;(3)加热基体到一定温度,然后以WS2靶和石墨靶为溅射靶材,在基体表面交替沉积WSx膜和DLC膜,通过沉积时间控制多层膜的调制周期、DLC膜厚和薄膜厚度等参数,从而获得特定结构特征的WSx/DLC纳米多层膜。本发明方法工艺简单、经济性好,制得的纳米多层膜硬度高(>9.5GPa)、结合力好(>36N)、内应力小(
公开/授权文献
- CN107267917B 一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法 公开/授权日:2019-12-24
IPC分类: