一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法
摘要:
本发明公开了一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法,制备方法主要包括:(1)对基体进行前处理,使其表面清洁、光滑;(2)在多靶磁控溅射沉积系统中安装WS2靶、石墨靶和前处理后的基体,并将沉积室气压抽至1.5×10-3Pa以下,调整靶基距和基体直流负偏压,通入高纯氩气并获得稳定气压;(3)加热基体到一定温度,然后以WS2靶和石墨靶为溅射靶材,在基体表面交替沉积WSx膜和DLC膜,通过沉积时间控制多层膜的调制周期、DLC膜厚和薄膜厚度等参数,从而获得特定结构特征的WSx/DLC纳米多层膜。本发明方法工艺简单、经济性好,制得的纳米多层膜硬度高(>9.5GPa)、结合力好(>36N)、内应力小(
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