发明授权
- 专利标题: 自动换靶装置的使用方法
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申请号: CN201710607841.2申请日: 2017-07-24
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公开(公告)号: CN107267931B公开(公告)日: 2019-11-22
- 发明人: 张荣生
- 申请人: 利辛县诚创科技中介服务有限公司
- 申请人地址: 安徽省亳州市利辛县城关镇春店社区刘小寨12号
- 专利权人: 利辛县诚创科技中介服务有限公司
- 当前专利权人: 知运保(亳州)技术开发有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省亳州市利辛县城关镇春店社区刘小寨12号
- 代理机构: 北京华识知识产权代理有限公司
- 代理商 乔浩刚
- 主分类号: C23C14/30
- IPC分类号: C23C14/30 ; C23C14/56
摘要:
本发明公开了一种自动换靶装置,应用于电子束蒸发镀膜设备,包括以下步骤:(1)实时推进靶材:当蒸镀工艺在进行时,推进机构根据第二感应器的数据由控制单元控制实时自动的通过第二伺服电机带动推进平台将靶容器内的靶材根据蒸镀工艺的消耗量实时向上推进;(2)自动换靶材:由第三伺服电机带动靶材盘旋转,将靶材盘上另一个有靶材的第二靶材腔转动到靶容器的正下方与靶容器的圆柱形空腔精确地相重合,推进平台则上移至第二靶材腔的靶材的正下方托住靶材,然后卡门打开,推进平台则继续上移将靶材推进至靶容器内且与靶容器内的靶材紧密结合,推进机构则停止;(3)向靶材盘内推入替换靶材。
公开/授权文献
- CN107267931A 自动换靶装置的使用方法 公开/授权日:2017-10-20
IPC分类: