一种导电薄膜的制备设备
摘要:
本发明提供了一种导电薄膜的制备设备,属于功能薄膜技术领域。它解决了导电薄膜容易在加工过程中受损等技术问题。一种导电薄膜的制备设备,制备设备包括一溅镀机,溅镀机包括一圆筒状的壳体,壳体的两端具有开口,壳体内设置有一中空的安装筒,安装筒内设置有一转轴,转轴与一电机的输出轴相连,转轴为中空结构,转轴内具有一通风腔,通风腔的内壁上均匀设置有若干隔板,各隔板的外端与转轴固定相连,相邻隔板的内端之间具有间隙,安装筒上开设有若干避让槽一,转轴的外壁上均匀设置有与避让槽一一一对应的通风板,通风板的内端与转轴固定相连,通风板的外端插设在对应的避让槽一内。本发明具有结构巧妙、对薄膜的保护力度强等优点。
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