发明公开
- 专利标题: 一种导电薄膜的制备设备
- 专利标题(英): Equipment for preparing conductive film
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申请号: CN201710431873.1申请日: 2017-06-09
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公开(公告)号: CN107275004A公开(公告)日: 2017-10-20
- 发明人: 张伟忠 , 苏跃锋 , 施叶标 , 汪琴伟
- 申请人: 浙江汇锋薄膜科技有限公司
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区丹梅路8-1号
- 专利权人: 浙江汇锋薄膜科技有限公司
- 当前专利权人: 浙江汇锋智造科技有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区丹梅路8-1号
- 代理机构: 嘉兴永航专利代理事务所
- 代理商 蔡鼎
- 主分类号: H01B13/00
- IPC分类号: H01B13/00 ; C23C14/56 ; C23C14/34
摘要:
本发明提供了一种导电薄膜的制备设备,属于功能薄膜技术领域。它解决了导电薄膜容易在加工过程中受损等技术问题。一种导电薄膜的制备设备,制备设备包括一溅镀机,溅镀机包括一圆筒状的壳体,壳体的两端具有开口,壳体内设置有一中空的安装筒,安装筒内设置有一转轴,转轴与一电机的输出轴相连,转轴为中空结构,转轴内具有一通风腔,通风腔的内壁上均匀设置有若干隔板,各隔板的外端与转轴固定相连,相邻隔板的内端之间具有间隙,安装筒上开设有若干避让槽一,转轴的外壁上均匀设置有与避让槽一一一对应的通风板,通风板的内端与转轴固定相连,通风板的外端插设在对应的避让槽一内。本发明具有结构巧妙、对薄膜的保护力度强等优点。
公开/授权文献
- CN107275004B 一种导电薄膜的制备设备 公开/授权日:2019-01-01