- 专利标题: 一种双层多孔结构非晶碳材料的阻变存储器及其制备方法
- 专利标题(英): Resistive random access memory with amorphous carbon material of double-layer porous structure and preparation method of resistive random access memory
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申请号: CN201710317742.0申请日: 2017-05-08
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公开(公告)号: CN107275480A公开(公告)日: 2017-10-20
- 发明人: 徐海阳 , 王中强 , 陶冶 , 黎旭红 , 刘益春
- 申请人: 东北师范大学
- 申请人地址: 吉林省长春市人民大街5268号
- 专利权人: 东北师范大学
- 当前专利权人: 东北师范大学
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市人民大街5268号
- 代理机构: 北京神州华茂知识产权有限公司
- 代理商 吴照幸
- 主分类号: H01L45/00
- IPC分类号: H01L45/00
摘要:
本发明涉及一种双层多孔结构非晶碳材料的阻变存储器及其制备方法,包括惰性金属,第一层多孔非晶碳,第二层多孔非晶碳,活性金属,所述惰性金属为底电极,第一层多孔非晶碳设在所述底电极上,所述第二层多孔非晶碳设在第一层多孔非晶碳上,在所述第二层多孔非晶碳上设有活性金属,所述活性金属为顶电极,所述第二层多孔非晶碳上的多孔的孔径尺寸大于第一层非晶碳上的多孔的孔径尺寸。本发明免去了初始化的过程,很大程度的提高了器件的产出率;通过控制氮气含量,精确控制介质层中的孔洞尺寸,有效控制导电细丝的形成与断裂,提升了器件的循环中的均一性。
公开/授权文献
- CN107275480B 一种双层多孔结构非晶碳材料的阻变存储器及其制备方法 公开/授权日:2019-09-10
IPC分类: