发明公开
- 专利标题: 低浓度六氟化硫气体回收装置及其回收方法
- 专利标题(英): Low-concentration sulfur hexafluoride gas recovery device and recovery method thereof
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申请号: CN201710515224.X申请日: 2017-06-29
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公开(公告)号: CN107281896A公开(公告)日: 2017-10-24
- 发明人: 汪献忠 , 李建国 , 朱会
- 申请人: 河南省日立信股份有限公司
- 申请人地址: 河南省郑州市高新区翠竹街1号
- 专利权人: 河南省日立信股份有限公司
- 当前专利权人: 河南省日立信股份有限公司
- 当前专利权人地址: 河南省郑州市高新区翠竹街1号
- 代理机构: 郑州豫开专利代理事务所
- 代理商 朱俊峰
- 主分类号: B01D53/053
- IPC分类号: B01D53/053 ; C01B17/45
摘要:
低浓度六氟化硫气体回收装置,包括混合气体进气口、第一压缩机、第二压缩机、存储罐、第一二位三通阀、第二二位三通阀、第三二位三通阀、第四二位三通阀、第一电动蝶阀、第二电动蝶阀、氮气输入口、氮气排空口、六氟化硫回收口、第一分子筛、第二分子筛和六氟化硫检测仪;第一分子筛金额第二分子筛内均设置有加热棒,第一分子筛和第二分子筛上均连接有压力表。本发明还公开了低浓度六氟化硫气体回收装置的回收方法。本发明利用分子筛可以吸附SF6气体的原理,且吸附量可以达到分子筛重量的50%,并且通过减压加热可以再生的特性,从而使尾气达标排放,减少对空气的污染,满足环保要求;本发明相比较膜分离装置,具有经济性和可实现性的优势。
IPC分类: