一种基于气浮导轨的二自由度直线式快刀伺服装置
Abstract:
本发明公开了一种基于气浮导轨的二自由度直线式快刀伺服装置,包括外壳、Z向驱动、X向驱动,所述Z向驱动通过螺钉与X向驱动连接,形成串联机构;Z向驱动、X向驱动的驱动方式采用压电驱动器,Z向驱动、X向驱动的导向方式采用气浮导轨导向,金刚石刀具安装在Z向驱动上,实现了金刚石刀具在X、Z方向上的高频直线式往返伺服运动。因非接触式驱动,使得整个装置寿命长,同时具有高运动精度。
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