带有剥离衬垫的粘合片
Abstract:
本发明提供带有剥离衬垫的粘合片,所述粘合片也适合于窄化、能够发挥良好的接合可靠性。根据本发明,提供带有剥离衬垫的粘合片,其具备:具有第一粘合面和第二粘合面的粘合片、及具有与上述第二粘合面抵接的第二剥离面的剥离衬垫。上述粘合片包含:发泡体基材、配置于该发泡体基材的第一面侧的第一粘合剂层、及配置于上述发泡体基材的第二面侧的第二粘合剂层。上述第一粘合面的算术平均粗糙度RaA1为800nm以下。上述第二粘合面的算术平均粗糙度RaA2为400nm以下。
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