一种压电元件气密性的检测装置及其检测方法
摘要:
本发明适用于压电元件气密性检测,提供了一种压电元件气密性的检测装置,包括频率发生器、信号检测装置、若干开关和气密测试室,频率发生器通过导线与信号检测装置相连接,形成检测电路,每一开关的一端连接导线,开关的另一端连接待检测的压电元件,待检测的压电元件放置于气密测试室内,待检测的压电元件的一端与所述开关相连接,待检测的压电元件的另一端接地线,所述信号检测装置用于检测所述检测电路的电压和相位差。本发明实施例在进行大批量压电元件的气密性检测时,只需要获取压电元件在不同压力下,在谐振点的前后数据变化,就能判断该压电元件气密性是否良好,不需要通过目测、外接振荡电路等,检测方法简单,检测速度快。
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