一种发光二极管外延片及其制造方法
Abstract:
本发明公开了一种发光二极管外延片及其制造方法,属于半导体技术领域。外延片包括衬底、缓冲层、未掺杂氮化镓层、N型氮化镓层、多量子阱层、电子阻挡层和P型氮化镓层,多量子阱层包括多个量子阱层和多个量子垒层,多个量子阱层和多个量子垒层交替层叠,量子垒层包括(n+1)个第一子层和n个第二子层,n为正整数,(n+1)个第一子层和n个第二子层交替层叠设置,第一子层为没有掺杂的氮化镓层,第二子层为掺杂硅的氮化镓层。本发明采用掺杂硅和非掺杂硅交替生长,可以有效增强电流扩展,且掺杂硅的氮化镓层中的部分硅可以通过渗透作用到没有掺杂硅的氮化镓中,保障了LED的发光效率和亮度,又可以减少线缺陷和降低电压。
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