Invention Grant
- Patent Title: 一种氮化镓二极管的制备方法和氮化镓三极管的制备方法
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Application No.: CN201710523997.2Application Date: 2017-06-30
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Publication No.: CN107316813BPublication Date: 2019-12-17
- Inventor: 张葶葶 , 朱延刚 , 李亦衡
- Applicant: 江苏能华微电子科技发展有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市张家港市国泰北路1号科技创业园(能华微电子)
- Assignee: 江苏能华微电子科技发展有限公司
- Current Assignee: 江苏能华微电子科技发展有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市张家港市国泰北路1号科技创业园(能华微电子)
- Agency: 北京高沃律师事务所
- Agent 刘奇
- Main IPC: H01L21/329
- IPC: H01L21/329 ; H01L21/33 ; H01L29/20
Abstract:
本发明提供一种氮化镓二极管的制备方法和氮化镓三极管的制备方法。本发明提供的氮化镓二极管和氮化镓三极管的制备方法是通过在对钝化层进行刻蚀的过程中保留不合格岛对应位置的钝化层,使合格岛上方的钝化层窗口打开,而不合格岛上方的钝化层窗口保持封闭,然后在刻蚀后的钝化层上覆盖第三金属层,最终使合格岛上的第一金属层与第三金属层相连,而不合格岛上的第一金属层与第三金属层绝缘,达到将不合格岛剔除的目的,避免了钝化层窗口全部打开后重新封闭绝缘的步骤,简化了工艺,降低了成本。
Public/Granted literature
- CN107316813A 一种氮化镓二极管的制备方法和氮化镓三极管的制备方法 Public/Granted day:2017-11-03
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