微流控芯片的制造方法和微流控芯片
Abstract:
本发明公开了一种微流控芯片的制造方法和微流控芯片,属于生化检测领域。所述方法包括:在衬底结构上形成预设膜层;将所述预设膜层加工为第一齿状结构;在形成有所述第一齿状结构的所述衬底结构上设置结构层以形成微流控通道。本发明通过在衬底结构上形成齿状结构,通过齿状结构、衬底结构以及结构层形成微流控通道,从而形成微流控芯片,无需先制造齿状结构的模具。解决了相关技术中需要先制造齿状的模具,通过该模具形成包括有齿状结构的预设膜层,再将该预设膜层从模具上剥离,导致微流控芯片的制造过程较为复杂,制造效率较低的问题。达到了简化微流控芯片的制造过程并且提高微流控芯片的制造效率的效果。
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